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MKY-SBC-12 小型离子溅射仪

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MKY-SBC-12 小型离子溅射仪

产品特点

特殊密封结构,玻璃不易损坏

操作方便,无需培训即可使用

维护成本低,无需上门安装

应用领域

本仪器主要适用于扫描电镜镀覆导电膜,仪器操作简单方便,是样品制备的仪器。适用的靶材:金、铂、铬、银、钛、铜、镍、金钯合金等。

技术指标

真空系统:两级直联旋片真空泵

真空检测:皮氏计

真空保护:配有微量充气阀,用于调节离子流的大小

工作气体:空气或氩气

尺寸

工作腔室:内径Ф100 x 130毫米

载物台:小载物台直径Ф40毫米, 可同时放六个样品杯;大载物台直径Ф60毫米

金靶尺寸:Ф58毫米

MKY-SBC-12 小型离子溅射仪

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