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MKY-RTS8型 四探针测试仪

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MKY-RTS8型 四探针测试仪

技 术 指 标

测量范围

电阻率:10-5~105 Ω.cm(可扩展);  
方块电阻:10-4~106 Ω/□(可扩展);
电导率:10-5~105 s/cm;
电阻:10-5~105 Ω;

可测晶片直径

140mmX150mm(配S-2A型测试台);
200mmX200mm(配S-2B型测试台)标配;
400mmX500mm(配S-2C型测试台);

恒流源

电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六档,各档电流连续可调

数字电压表

量程及表示形式:000.00~199.99mV;    
分辨力:10μV;
输入阻抗:>1000MΩ;
精度:±0.1% ;
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示;

四探针探头基本指标

间距:1±0.01mm;
针间绝缘电阻:≥1000MΩ;
 机械游移率:≤0.3%;
探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
探针压力:5~16 牛顿(总力);

四探针探头应用参数

(见探头附带的合格证)

模拟电阻测量相对误差
( 按JJG508-87进行)

0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字

整机测量大相对误差

(用硅标样片:0.01-180Ω.cm测试)≤±5%

整机测量标准不确定度

≤5%



MKY-RTS8型 四探针测试仪

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